水素センサ及びその製造方法

開放特許情報番号
L2021000922
開放特許情報登録日
2021/7/16
最新更新日
2021/7/19

基本情報

出願番号 特願2008-552176
出願日 2007/12/28
出願人 株式会社ミクニ
公開番号 WO2008/081921
公開日 2008/7/10
登録番号 特許第5184375号
特許権者 株式会社ミクニ
発明の名称 水素センサ及びその製造方法
技術分野 情報・通信、電気・電子、無機材料
機能 機械・部品の製造、材料・素材の製造
適用製品 水素センサ及びその製造方法
目的 耐久性が良好で低コストの水素センサ、及びその製造方法を提供する。
効果 センサの耐久性が高まる。更に、保護膜を薄くすることができるので、センサの応答速度が高まる。また更に、保護膜の膜厚が薄いので、高価な水素透過性金属の使用量が少なくなり、安価に水素センサを製造できる。
技術概要
基板と、該基板上に気相成長法又はスパッタリング法により第1のセラミックスと希土類金属粒子とが同時に成膜された検知膜と、該検知膜上に形成されてなる水素透過性保護膜とを有し、
前記検知膜は厚みが5〜1000nm、前記水素透過性保護膜の厚みが5〜40nmであり、
前記検知膜は前記第1のセラミックスと前記第1のセラミックスに略均一に分散した平均粒子径1〜10nmであって且つ前記検知膜の厚さよりも小さい前記希土類金属粒子とからなり、
前記検知膜は前記希土類金属粒子を30〜70質量%含有し、
前記保護膜は第2のセラミックスと前記第2のセラミックス中に分散した水素透過性金属粒子とからなり、
前記第1のセラミックス及び前記第2のセラミックスが、第IVa属、第Va属又は第VIa属金属元素の窒化物又は酸化物で構成され、かつ前記第1のセラミックス及び前記第2のセラミックスが同一材料で構成されてなることを特徴とする水素センサ。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 株式会社ミクニ

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【有】  アメリカ合衆国、ドイツ
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