半導体ソーラーセルの製造方法

開放特許情報番号
L2021000887
開放特許情報登録日
2021/7/2
最新更新日
2021/7/2

基本情報

出願番号 特願2013-020693
出願日 2010/9/10
出願人 国立大学法人東京農工大学
公開番号 特開2013-080980
公開日 2013/5/2
登録番号 特許第5692708号
特許権者 国立大学法人東京農工大学
発明の名称 半導体ソーラーセルの製造方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 半導体ソーラーセルの製造方法
目的 高光電力変換効率と低コスト化を可能にし、且つ電極/パッシベーション膜/半導体構造として実用可能にした半導体ソーラーセル及びその製造方法を提供する。
効果 高光電力変換効率と低コスト化を可能にし、且つ実用可能にしたソーラーセルを提供することができる。
技術概要
半導体基板の光入射される面の反対面に酸化膜を形成する工程と、
前記酸化膜に水蒸気熱処理を施して、前記半導体基板よりも絶縁性が高く、トンネル効果による電流導通可能な水蒸気熱酸化膜によるパッシベーション薄膜を形成する工程と、
前記パッシベーション薄膜上に仕事関数が異なる第1の電極及び第2の電極を形成する工程と、
前記第1の電極及び前記第2の電極に、異方性導電シートを接続する工程と、を有する
ことを特徴とする半導体ソーラーセルの製造方法。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

アピール内容 関連国内特許:特許5424270
関連国内特許含め特許権譲渡又は実施許諾可

登録者情報

登録者名称 国立大学法人東京農工大学

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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