マイクロ波プラズマ処理装置

開放特許情報番号
L2021000773
開放特許情報登録日
2021/6/4
最新更新日
2021/6/4

基本情報

出願番号 特願2011-252325
出願日 2011/11/18
出願人 住友理工株式会社、国立大学法人東海国立大学機構
公開番号 特開2013-109875
公開日 2013/6/6
登録番号 特許第5868137号
特許権者 住友理工株式会社、国立大学法人東海国立大学機構
発明の名称 マイクロ波プラズマ処理装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 マイクロ波プラズマ処理装置
目的 処理対象物の処理対象面の形状によらず、所定の改質処理を施しやすいマイクロ波プラズマ処理装置を提供する。
効果 処理対象物の処理対象面の形状によらず、所定の改質処理を施しやすいマイクロ波プラズマ処理装置を提供することができる。
技術概要
内筒部と、
該内筒部の軸直方向外側に配置される外筒部と、
該内筒部と該外筒部との間に配置され、軸方向にマイクロ波が伝播する導波通路と、
該内筒部の軸方向一端と該外筒部の軸方向一端との間に配置され、該導波通路に連通し軸直方向幅が該導波通路よりも狭く、周方向に無端環状に延在するスリットと、
プラズマ生成用ガスを該スリットに供給するガス供給部と、
を備え、
略大気圧条件下において、該マイクロ波と該プラズマ生成用ガスとを該スリットに通過させることにより該マイクロ波の電界を集中させ該スリット付近に高電界を形成し、該高電界により該プラズマ生成用ガスを電離させリング状のプラズマを生成し、該プラズマを照射することにより処理対象物の処理対象面に所定の改質処理を施すマイクロ波プラズマ処理装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 住友理工株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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