固体撮像素子及びその製造方法

開放特許情報番号
L2021000580
開放特許情報登録日
2021/4/28
最新更新日
2021/4/28

基本情報

出願番号 特願2016-097809
出願日 2016/5/16
出願人 日本放送協会
公開番号 特開2017-208376
公開日 2017/11/24
登録番号 特許第6799386号
特許権者 日本放送協会
発明の名称 固体撮像素子及びその製造方法
技術分野 電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 固体撮像素子及びその製造方法
目的 従来よりも感度が高くノイズの少ない固体撮像素子及びその製造方法を提供する。
効果 従来よりも感度が高くノイズの少ない固体撮像素子及びその製造方法を提供できる。
技術概要
固体撮像素子の製造方法であって、
信号読み出し回路を有する基板上に第1アモルファスSe膜を形成する第1アモルファスSe膜形成工程と、
金属酸化物膜又は金属酸化物基板上に第2アモルファスSe膜を形成する第2アモルファスSe膜形成工程と、
前記基板上に形成された第1アモルファスSe膜と、前記金属酸化物膜又は金属酸化物基板上に形成された第2アモルファスSe膜と、を加圧接合する接合工程と、
前記加圧接合されたアモルファスSe膜を結晶化して結晶Se膜を形成する結晶化工程と、を有し、
前記接合工程において、加圧接合用の圧力は0.01〜2.00MPaである固体撮像素子の製造方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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