適用製品
表面孔を有するシリコン微粒子の製造方法、及びシリコン微粒子
目的
簡易な操作と安価な材料を用いて、シリコン微粒子の表面に微細な孔を形成する手段を提供する。
効果
簡易な操作と安価な材料を用いて、シリコン微粒子の表面に微細な孔を形成する手段が提供される。
技術概要
フッ化水素酸及び遷移金属イオンを含む溶液にシリコン微粒子を浸漬することで、前記シリコン微粒子の表面に遷移金属粒子を析出させるとともに、当該析出に伴って、前記遷移金属粒子との接触部が酸化された前記シリコン微粒子の表面をフッ化水素酸でエッチングする第一エッチング工程と、
前記第一エッチング工程を経たシリコン微粒子から、前記遷移金属粒子を除去する除去工程と、を備えた、表面孔を有するシリコン微粒子の製造方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
