微分干渉計

開放特許情報番号
L2021000443
開放特許情報登録日
2021/4/12
最新更新日
2021/4/12

基本情報

出願番号 特願2019-114223
出願日 2019/6/20
出願人 学校法人東京電機大学
公開番号 特開2021-001739
公開日 2021/1/7
発明の名称 微分干渉計
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 レーザー光を用いた微分干渉計
目的 干渉信号の密度が一定であり、被測定物の表面における凹凸の解釈上の問題がないだけでなく、参照面を必要としない簡易で迅速な観測が可能な微分干渉計を提供する。
効果 干渉信号の密度が一定であり、被測定物の表面における凹凸の解釈上の問題が生じないだけでなく、参照面を必要としない簡易で迅速な観測が可能になるという優れた効果を奏する。
技術概要
円錐状に一端側を突出した突出端とする凸型アキシコンレンズと、
前記突出端の形状と合致する円錐状に一端側を窪ました凹端とすると共に、前記突出端に対して該凹端を対向して配置した凹型アキシコンレンズと、
光束を被測定物に照射して該被測定物で反射させた反射光をこれら一対のアキシコンレンズに入射する光源と、
を含む微分干渉計であって、
これら一対のアキシコンレンズの屈折率が相互に同一であり、突出端と凹端との間の隙間が全体にわたって一定の大きさとされたことを特徴とする微分干渉計。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 東京電機大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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