出願番号 |
特願2019-138466 |
出願日 |
2019/7/29 |
出願人 |
学校法人早稲田大学 |
公開番号 |
特開2021-020828 |
公開日 |
2021/2/18 |
発明の名称 |
カーボンナノチューブ、その製造方法および製造装置 |
技術分野 |
化学・薬品、無機材料、機械・加工 |
機能 |
機械・部品の製造、材料・素材の製造 |
適用製品 |
カーボンナノチューブ、その製造方法および製造装置 |
目的 |
長尺で高純度のCNTで構成されるCNTフォレストを製造することができる、カーボンナノチューブの製造方法、製造装置および当該製造方法で製造されるカーボンナノチューブを提供する。 |
効果 |
基材に適当な触媒と助触媒とを担持させた支持体に対し、コールドガス方式のCVD装置を用いて、炭素原料と触媒原料と基材原料とを継続して供給することにより、触媒混入の少ない長尺のCNTを高速かつ長時間成長で製造することができる。 |
技術概要
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カーボンナノチューブを長尺状に成長させるカーボンナノチューブの製造方法であって、
基材と助触媒と触媒とを担持させた支持体を加熱する工程と、
前記支持体に、炭素源ガスと触媒源ガスと基材源ガスとを含有する混合ガスを供給する工程を含み、
コールドガス方式で、前記支持体上に前記カーボンナノチューブを長尺状に成長させることを特徴とする、カーボンナノチューブの製造方法。 |
実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【否】
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特許権実施許諾 |
【可】
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