マイクロデバイス、計測ユニットおよび検査装置

開放特許情報番号
L2021000323
開放特許情報登録日
2021/3/18
最新更新日
2021/4/20

基本情報

出願番号 特願2015-202327
出願日 2015/10/13
出願人 国立大学法人山梨大学
公開番号 特開2017-075807
公開日 2017/4/20
登録番号 特許第6855003号
特許権者 国立大学法人山梨大学
発明の名称 マイクロデバイス、計測ユニットおよび検査装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 流体制御機構を備えたマイクロデバイスならびにそれを備えた検査装置
目的 リークの虞を排除したうえで、回転数の切り替えや外部からバルブの開閉をせずに、能動的に逐次的な流体の制御がなされるマイクロデバイス。
効果 従来技術のリークの虞を排除したうえで、回転数の切り替えや外部からバルブの開閉をせずに、能動的に逐次的な流体の制御が安定してなされるマイクロデバイスを実現することができる。
技術概要
少なくとも二つ以上のチャネル(a,b)と、
第1のサブデバイスと
を備え、
前記第1のサブデバイスは第1の容器(13)を備え、
前記チャネルの各々は、
第2の容器(12a)と、
第2のサブデバイスと
を備え、
前記第2のサブデバイスは
一端が前記第2の容器の出力口に繋がれた第1の流路(11a)を
具備し、
前記チャネルの各々は前記第1の流路の他端を経由し独立して前記第1の容器の前記チャネルごとに設けられた入力口にそれぞれ接続され、
前記第1の流路の各々は、長さ・太さ・形状の少なくとも1つが互いに異なり、
前記第2の容器、前記第2のサブデバイス、前記第1のサブデバイスの順に、流路の上流側位置の基準点から離れるように構成されたマイクロデバイス。
実施実績 【有】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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