金属微細構造体の製造方法

基本情報

出願番号	特願2019-030623
出願日	2019/2/22
出願人	国立大学法人静岡大学
公開番号	特開2020-136574
公開日	2020/8/31
発明の名称	金属微細構造体の製造方法
技術分野	電気・電子
機能	材料・素材の製造
適用製品	金属微細構造体の製造方法
目的	板状部材に設けられる金属構造体のさらなる微細化を容易に実現する金属微細構造体の製造方法を提供する。
効果	煩雑な処理を必要とすることなく板状部材における金属構造体のさらなる微細化を容易に実現することができる。
技術概要	金属微細構造体を作製する金属微細構造体の製造方法であって、金属塩を溶解させたポリアミック酸を含む板状部材を形成する形成ステップと、前記板状部材に設定された所定の照射パターンに沿って電子ビームを照射する照射ステップと、前記板状部材の一部を除去する除去ステップと、を有する金属微細構造体の製造方法。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立大学法人静岡大学