電力回生型パルス電源

開放特許情報番号
L2021000143
開放特許情報登録日
2021/2/10
最新更新日
2021/2/10

基本情報

出願番号 特願2016-252128
出願日 2016/12/26
出願人 高知県公立大学法人
公開番号 特開2018-107904
公開日 2018/7/5
登録番号 特許第6762002号
特許権者 高知県公立大学法人
発明の名称 電力回生型パルス電源
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 電力回生型パルス電源
目的 低気圧の容量結合型プラズマ処理装置等において所望のパルス幅にわたって安定な放電プラズマの生成を高周波数で繰り返すためのパルス電圧を供給する場合に、比較的簡易な回路により、容量性負荷回路の容量に蓄えられる電荷と静電エネルギーをパルス毎に回生することができ、電力の利用効率を向上させることができる電力回生型パルス電源を提供する。
効果 容量結合型プラズマ処理装置等の容量性負荷回路に高周波パルス電圧を供給する場合に、所望のパルス幅(放電時間)にわたって安定な放電プラズマを持続できるとともに容量性負荷回路の容量に蓄えられる電荷と静電エネルギーをパルス毎に回生することができ、電力の利用効率を向上させることができる。
技術概要
電源と、
充放電回路と、
電流(電圧)調節回路と
を備えた電力回生型パルス電源であって、
前記充放電回路は、第1半導体スイッチと、コンデンサと、リアクトルと、第2半導体スイッチとを備え、
前記コンデンサは、一方の電極が前記第1半導体スイッチと前記リアクトルの間に接続され、他方の電極が接地されており、
前記コンデンサは前記第1半導体スイッチを介して前記電源に接続され、
前記コンデンサは前記第2半導体スイッチと前記リアクトルを介して容量性負荷回路に接続され、
前記電流(電圧)調節回路は、前記電源と前記容量性負荷回路の間に、前記充放電回路と並列に設けられ、第3半導体スイッチを介して前記容量性負荷回路に接続されることを特徴とする、電力回生型パルス電源。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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