| 出願番号 |
特願2010-045991 |
| 出願日 |
2010/3/2 |
| 出願人 |
公立大学法人高知工科大学 |
| 公開番号 |
特開2011-181784 |
| 公開日 |
2011/9/15 |
| 登録番号 |
特許第5565673号 |
| 特許権者 |
高知県公立大学法人 |
| 発明の名称 |
ミストエッチング装置及びミストエッチング方法 |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
ミストエッチング装置及びミストエッチング方法 |
| 目的 |
エッチング処理が困難な材料に対しても適用可能であり、サイドエッチングを抑制し、且つエッチング処理面が平滑である良好なパターン形状を得ることができるミストエッチング装置及びミストエッチング方法の提供。 |
| 効果 |
難エッチング材料に対してもサイドエッチングを抑制し、且つエッチング処理面が平滑である良好なパターン形状を得ることができる。 |
技術概要
 |
エッチング液をミスト化するミスト生成部と、エッチング対象物をエッチングするエッチング部とを備えており、
前記ミスト生成部は、エッチング液が収容され且つミスト化されるミスト生成容器と、前記エッチング液をミスト化するミスト生成機構と、生成された前記ミストを前記ミスト生成容器外へ排出するミスト排出口とからなり、
前記エッチング部は、前記ミストが導入されるミスト導入口と、前記ミスト導入口から導入されたミストを滞留させる滞留部と、該滞留部にて滞留した前記ミストを整流する整流部とからなり、前記エッチング対象物が前記整流部に備えられ、該エッチング部で前記ミストが蒸気化されることを特徴とするミストエッチング装置。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)