フッ素含有非晶質硬質炭素膜及びその製造方法

開放特許情報番号
L2021000014
開放特許情報登録日
2021/1/15
最新更新日
2021/1/15

基本情報

出願番号 特願2019-041368
出願日 2019/3/7
出願人 学校法人慶應義塾
公開番号 特開2020-143348
公開日 2020/9/10
発明の名称 フッ素含有非晶質硬質炭素膜及びその製造方法
技術分野 金属材料、化学・薬品
機能 材料・素材の製造
適用製品 高硬度でかつ撥水性、撥油性に優れた保護膜として適したフッ素含有非晶質硬質炭素膜及びその製造方法
目的 高い撥水性を付与し、かつ、膜の内部ではフッ素原子の含有量を相対的に低く抑えることによって硬度を維持しているフッ素含有非晶質硬質炭素膜及びその製造方法を提供する。
効果 高い撥水性を付与し、かつ、膜の内部ではフッ素原子の含有量を相対的に低く抑えることによって硬度を維持しているフッ素含有非晶質硬質炭素膜及びその製造方法を提供することができる。
技術概要
基材の表面に設けられ、フッ素原子を10〜50原子%含有するフッ素含有層を有するフッ素含有非晶質硬質炭素膜であって、
前記フッ素含有層は前記フッ素含有非晶質硬質炭素膜の前記基材側とは反対側の最外面を含み、かつ、フッ素含有量が厚さ方向で前記基材側から前記最外面側に向かうに従って増加する傾斜組成を有し、かつ、
(1)前記フッ素含有層が前記フッ素含有非晶質硬質炭素膜の厚さ方向の中央を含み、かつ、前記最外面におけるフッ素含有量が、前記厚さ方向の中央におけるフッ素含有量の1.5倍以上であるか、又は(2)前記フッ素含有層が前記厚さ方向の中央より前記最外面側にあることを特徴とするフッ素含有非晶質硬質炭素膜。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 学校法人慶應義塾

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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