目的
より高い感度で且つより早い応答速度でガスを検知することができるガスセンサを提供する。
効果
多孔質体内の細孔が多孔質体の表面側から裏面側に貫通して両面側ともに塞がれていないため，検知対象ガスがガス検知部である多孔質体を表面側から裏面側へ透過可能であって，多孔質体の細孔内に入り込みやすくなり，高い感度で，且つ，早い応答速度でガスを検知することができる。
技術概要
多数の細孔が形成された多孔質体と，該多孔質体の両側に電気的に接続して配置される一対の電極とを備え，電極間の電気的特性を計測することによりガスの濃度を計測するガスセンサであって，前記細孔は多孔質体の表面側から裏面側に略垂直に貫通する筒状構造を有し，各細孔が略同一方向に配向されて形成され，多孔質体の表面側及び裏面側において細孔は塞がれずに，ガスが表面側から裏面側に透過可能であることを特徴とする。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
