水素含有試料の水素分布の3次元イメージング方法、及び水素含有試料の水素分布の3次元イメージング測定システム

開放特許情報番号
L2020002642
開放特許情報登録日
2020/12/25
最新更新日
2020/12/25

基本情報

出願番号 特願2018-138194
出願日 2018/7/24
出願人 国立大学法人 筑波大学
公開番号 特開2020-017365
公開日 2020/1/30
発明の名称 水素含有試料の水素分布の3次元イメージング方法、及び水素含有試料の水素分布の3次元イメージング測定システム
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 材料・素材の製造
適用製品 水素含有試料の水素分布を3次元のイメージとして取得する方法、及びそれを用いた水素含有試料の水素分布の3次元イメージング測定システム
目的 水素含有試料へのダメージを抑えつつ、高い位置分解能で水素含有試料中の水素分布を3次元のイメージとして取得する方法、且つ、比較的短時間に水素含有試料の水素分布を3次元イメージとして取得することが可能な方法、及び、それを用いた水素含有試料の水素分布の3次元イメージング測定システムを提供する。
効果 質量数4のヘリウムイオンと質量数1の水素との弾性散乱の散乱断面積の大きなエネルギーおよび角度条件に設定できるので、水素分布の3次元イメージング測定を迅速に行うことができる。
技術概要
水素含有試料の水素分布の3次元イメージング測定システムであって、
イオン源と、
加速器と、
試料チャンバ、及び、ビーム輸送システムと、
マイクロビーム形成機構と、
走査装置と、
透過反跳水素計測装置と、を備え、
加速器は、イオン源から出射される質量数4のヘリウムイオンを8MeV以上のエネルギーに加速可能であり、
透過反跳水素計測装置は、検出された質量数1の透過反跳水素のエネルギーと、走査装置によって走査されるマイクロビームの、水素含有試料における進行方向に垂直な面内の位置とに基づいて、水素含有試料の水素分布の3次元位置情報を取得することを特徴とする水素含有試料の水素分布の3次元イメージング測定システム。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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