計測対象物の面外変位分布や3次元形状を計測する方法とその装置

開放特許情報番号
L2020002420
開放特許情報登録日
2020/11/18
最新更新日
2020/11/18

基本情報

出願番号 特願2019-009215
出願日 2019/1/23
出願人 国立大学法人福井大学
公開番号 特開2020-118533
公開日 2020/8/6
発明の名称 計測対象物の面外変位分布や3次元形状を計測する方法とその装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 測定対象物の面外変位分布や3次元形状を計測する方法とその装置
目的 比較的遠方に位置する測定対象物の面外方向の変位の分布を、投光側と受光側とを略同軸に配置した状態で計測する方法およびその方法を用いる装置を提供する。
効果 比較的遠方に位置する測定対象物の面外方向の変位の分布を、投光側と受光側とを略同軸に配置した状態で計測する方法およびその方法を用いる装置を提供できる。
技術概要
物体の表面に干渉縞を投影し、投影された干渉縞の反射光を撮像手段で撮像する計測方法において、
前記干渉縞は、3方向から照射される可干渉の光波による干渉の原理に基づいて、3方向から照射される光の照射方向に干渉縞が現れる領域と現れない領域からなる3光束干渉縞が形成され、
前記3光束干渉縞により前記計測対象物の変位または3次元形状を計測する、計測方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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