ガス流通管の取付具及び気相成長装置

基本情報

出願番号	特願2014-123578
出願日	2014/6/16
出願人	古河機械金属株式会社
公開番号	特開2016-004868
公開日	2016/1/12
登録番号	特許第6345497号
特許権者	古河機械金属株式会社
発明の名称	ガス流通管の取付具及び気相成長装置
技術分野	電気・電子、金属材料
機能	材料・素材の製造
適用製品	ガス流通管の取付具及び気相成長装置
目的	気相成長装置のガス導入管等のガス流通管を好適に保護することが可能な、ガス流通管の取付具、及び、気相成長装置を提供する。
効果	気相成長装置のガス導入管等のガス流通管を好適に保護することが可能となる。
技術概要	反応炉内に保持された基板上に半導体結晶膜を成長させる気相成長装置の前記反応炉の内部と外部との間でガスを流通させるガラス管を、前記反応炉の外壁に取り付けるための取付具。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【可】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	古河機械金属株式会社