気相成長装置及び気相成長用加熱装置

開放特許情報番号
L2020002059
開放特許情報登録日
2020/12/23
最新更新日
2020/12/23

基本情報

出願番号 特願2013-150145
出願日 2013/7/19
出願人 古河機械金属株式会社
公開番号 特開2015-023153
公開日 2015/2/2
登録番号 特許第6253289号
特許権者 古河機械金属株式会社
発明の名称 気相成長装置及び気相成長用加熱装置
技術分野 電気・電子、金属材料
機能 機械・部品の製造
適用製品 気相成長装置及び気相成長用加熱装置
目的 気相成長中に抵抗発熱体が断線した場合において、サセプタ及び基板の温度条件への影響を抑制することが可能な気相成長装置および気相成長用加熱装置を提供する。
効果 気相成長中に抵抗発熱体(第1抵抗発熱体又は第2抵抗発熱体)が断線した場合においても、サセプタ及び基板の温度条件への影響を抑制することができる。
技術概要
基板の少なくとも一方の面に気相成長により堆積物を形成可能なように前記基板を支持する盤状のサセプタと、
前記サセプタを加熱する加熱部と、
を備え、
前記加熱部は、
互いに電気的に並列に接続された第1抵抗発熱体及び第2抵抗発熱体と、
第1抵抗発熱体の両端間及び第2抵抗発熱体の両端間に電流を印加する電力供給部と、
前記第1抵抗発熱体と前記第2抵抗発熱体とは別体に設けられており、前記第1抵抗発熱体の両端間の間に位置する第1結節点と、前記第2抵抗発熱体の両端間の間に位置する第2結節点と、を相互に電気的に接続する接続導体と、
を有し、
前記第1結節点及び前記第2結節点はそれぞれ複数設けられており、かつ前記接続導体も複数設けられており、
前記複数の接続導体は、互いに異なる前記第1結節点と前記第2結節点とを相互に電気的に接続している気相成長装置。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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