赤外線加熱単結晶製造装置

開放特許情報番号
L2020001985
開放特許情報登録日
2020/10/21
最新更新日
2020/10/21

基本情報

出願番号 特願2004-174284
出願日 2004/6/11
出願人 古河機械金属株式会社
公開番号 特開2005-022965
公開日 2005/1/27
登録番号 特許第4405320号
特許権者 古河機械金属株式会社
発明の名称 赤外線加熱単結晶製造装置
技術分野 無機材料
機能 機械・部品の製造
適用製品 赤外線加熱単結晶製造装置
目的 直径の大きな単結晶の成長を可能とすることで、単結晶の製造コストを低減し、工業生産用に適した赤外線加熱単結晶製造装置を提供する。
効果 直径の大きな単結晶を成長させることが可能であり、それによって単結晶の製造コストが低減され、赤外線加熱単結晶製造装置が工業生産装置に適したものとなる。
技術概要
原料棒を取り付ける上軸と、単結晶を取り付ける下軸と、原料棒と単結晶とが接合する部分である被加熱部を集光した赤外線で加熱するための光源ユニットとを備え、被加熱部を加熱溶融することで浮遊溶融帯を形成し、単結晶を成長させる赤外線加熱単結晶製造装置であって、
光源ユニットを赤外線ランプと赤外線ランプから放射される赤外線を集光する複合放物面反射型集光器とで構成し、
出射光の散乱を抑制するレンズを備えた光ファイバーの一方の端部を被加熱部の周囲に複数配置し、
光ファイバーの他方の端部を光源ユニットに設けた複合放物面反射型集光器の赤外線集光部に接続したことを特徴とする赤外線加熱単結晶製造装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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