中空マイクロチューブ構造体およびその作製方法ならびに生体検査装置
- 開放特許情報番号
- L2020001926
- 開放特許情報登録日
- 2020/9/30
- 最新更新日
- 2020/9/30
基本情報
| 出願番号 | 特願2011-504901 |
|---|---|
| 出願日 | 2010/3/19 |
| 出願人 | 国立大学法人豊橋技術科学大学 |
| 公開番号 | |
| 公開日 | 2010/9/23 |
| 登録番号 | |
| 特許権者 | 国立大学法人豊橋技術科学大学 |
| 発明の名称 | 中空マイクロチューブ構造体およびその作製方法ならびに生体検査装置 |
| 技術分野 | 食品・バイオ、化学・薬品、機械・加工 |
| 機能 | 機械・部品の製造 |
| 適用製品 | 中空マイクロチューブ構造体およびその作製方法ならびに生体検査装置 |
| 目的 | 低侵襲の電極として使用できる中空マイクロチューブ構造体およびその製造方法、中空マイクロチューブ構造体を使用した生体検査装置を提供する。 |
| 効果 | 半導体基板上に中空チューブを有する中空マイクロチューブ構造体を効率よく作製することができる。
非常に微小な局所領域における電気的、化学的または光学的な刺激に対する反応を計測し、当該測定結果によって生体の検査を実現することが可能となる。 |
技術概要) |
半導体基板と、
該半導体基板の表面に対して直交方向に直線状に中空部を形成してなり、かつ、マイクロスケールの筒状に該表面上に設けられた少なくとも１つの中空チューブと、 該中空チューブの内部表面を構成する金属被膜層と、 前記中空チューブの外部表面を構成する絶縁被膜層と、 前記中空チューブの中空部の延長上に連通しつつ前記半導体基板の裏面で開口する貫通孔と、 を備えたことを特徴とする中空マイクロチューブ構造体。 |
| 実施実績 | 【無】 |
| 許諾実績 | 【無】 |
| 特許権譲渡 | 【否】 |
| 特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
| 登録者名称 | |
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その他の情報
| 関連特許 |
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