物理・化学センサおよび物理・化学現象センシングデバイスならびにこれらの製造方法

開放特許情報番号
L2020001868
開放特許情報登録日
2020/9/16
最新更新日
2020/9/16

基本情報

出願番号 特願2013-536451
出願日 2012/9/28
出願人 国立大学法人豊橋技術科学大学
公開番号 WO2013/047799
公開日 2013/4/4
登録番号 特許第5988055号
特許権者 国立大学法人豊橋技術科学大学
発明の名称 物理・化学センサおよび物理・化学現象センシングデバイスならびにこれらの製造方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 光干渉型の物理・化学センサ
目的 微小な表面応力の変化を検出することができ、小型化・アレイ化を可能にする物理・化学センサおよび物理・化学現象センシングデバイスならびにこれらの製造方法を提供する。
効果 受光素子の表面側に形成した膜部の撓み状態によって、膜部に固定した物質(分子等)による分子間力の変化を測定することができる。予め特定のプローブ分子(抗体)を膜部表面に固定し、検査対象物の供給の前後における特定波長の光の強度を測定することによって、特定のタンパク質(抗原)の存在を検出することができる。受光素子の作製に続けて、半導体作製プロセス技術を用いることにより、小型に作製できるとともに、アレイ化も可能である。
技術概要
受光素子の受光面の表面に、中空部を形成しつつ該受光面に対向して設けられた膜部を備え、
前記膜部は、光透過性および可撓性を有し、前記受光面の表面とでファブリペロー共振器を形成するとともに、少なくとも外側表面に物質固定能を有している膜部であることを特徴とする物理・化学センサ。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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