粒子分析装置

開放特許情報番号
L2020001644
開放特許情報登録日
2020/8/19
最新更新日
2020/8/19

基本情報

出願番号 特願2004-328270
出願日 2004/11/11
出願人 国立大学法人京都大学、株式会社堀場製作所
公開番号 特開2006-138727
公開日 2006/6/1
登録番号 特許第4035582号
特許権者 国立大学法人京都大学
発明の名称 粒子分析装置
技術分野 情報・通信
機能 検査・検出
適用製品 気体中に浮遊する微小な粒子を分析するための粒子分析装置
目的 キャビティリングダウン分光法を用いた分析装置において、小角を含む広範囲の前方及び後方散乱光を検出できるようにする。
効果 キャビティリングダウン分光法を用いた分析装置において、粒子により生じる散乱光が反射鏡保持部材により遮られることがないので、小角を含む広範囲の前方散乱光及び後方散乱光を検出することができる。従って、小角を含む広範囲の散乱光を検出できるので、粒径あるいは散乱係数を精度良く測定することができる。
技術概要
レーザ光を照射する光源と、
複数の反射鏡によって形成され、前記レーザ光を閉じこめるとともに測定対象である粒子が導入される光学キャビティと、
前記反射鏡を保持する反射鏡保持部材と、
前記レーザ光が前記反射鏡のいずれか1つで反射する際に、その反射鏡から漏れ出た漏れ光の強度を検出する漏れ光検出器と、
前記レーザ光が前記粒子に照射されて生じる散乱光の強度を検出する複数の散乱光検出器と、
前記漏れ光強度及び前記散乱光強度に基づいて、前記粒子の粒径、散乱係数、消散係数等の粒子特性を算出する演算装置とを備え、
前記反射鏡保持部材が、少なくともその一部に光を透過する透光部を有したものであり、前記散乱光検出器が前記透光部を通過して光学キャビティ外に出た散乱光の強度を検出するものである粒子分析装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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