イオンビーム検出器

開放特許情報番号
L2020001640
開放特許情報登録日
2020/8/19
最新更新日
2020/8/19

基本情報

出願番号 特願2006-038533
出願日 2006/2/15
出願人 国立大学法人京都大学、国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構、国立研究開発法人日本原子力研究開発機構
公開番号 特開2007-218696
公開日 2007/8/30
登録番号 特許第4547507号
特許権者 国立大学法人京都大学
発明の名称 イオンビーム検出器
技術分野 情報・通信、電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 イオンビーム検出器
目的 生成されるイオンビームのエネルギーが即座に判り、かつ、レーザー照射を行いながら、リアルタイムでイオンビームの計測が可能なイオンビーム検出器を提供する。
効果 イオンビームのエネルギーの計測は、飛行時間計測部にて計測されたイオンビームの飛行時間に基づいて行われる。この飛行時間は瞬時に判るものである。このため、生成されるイオンビームのエネルギーが即座に判り、かつ、レーザー照射を行いながら、リアルタイムでイオンビームの計測が可能になる。
技術概要
イオン源から発生するイオンビームを検出するイオンビーム検出器であって、
上記イオンビームに混在するX線を透過させ、かつ上記イオンビームを光に変換する光変換部と、
上記光変換部にて変換されたイオンビーム由来の光を電気信号として検出する光検出部と、
上記イオンビームが上記光変換部に到達するまでの飛行時間を計測する飛行時間計測部とを有し、
上記光変換部がイオンビームを受ける側に、上記イオンビームに混在する電子を除去する電子除去部と、上記イオンビームに混在する光を遮光する遮光部とを備えるとともに、
上記光変換部と上記光検出部との間に、光変換部に入射するイオンビームの光軸に対し湾曲した湾曲部が形成されていることを特徴とするイオンビーム検出器。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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