イオン源装置、粒子線発生装置、およびイオンビーム生成方法

開放特許情報番号
L2020001348
開放特許情報登録日
2020/6/30
最新更新日
2020/6/30

基本情報

出願番号 特願2018-021802
出願日 2018/2/9
出願人 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
公開番号 特開2019-139943
公開日 2019/8/22
発明の名称 イオン源装置、粒子線発生装置、およびイオンビーム生成方法
技術分野 電気・電子、食品・バイオ、無機材料
機能 機械・部品の製造
適用製品 高エネルギーイオンビーム(粒子線)を発生させる粒子線発生装置、イオンビームを生成するイオン源装置、およびイオンビーム生成方法
目的 複数のイオン種を短時間で切り換えて生成することのできるイオン源装置、粒子線発生装置、およびイオンビーム生成方法を提供する。
効果 複数のイオン種を短時間で切り換えて生成することのできるイオン源装置、粒子線発生装置、およびイオンビーム生成方法を提供できる。
技術概要
真空中に導入したガスからイオンビームを生成するイオン源装置であって、
内部が真空のチャンバーと、
前記チャンバー内にガスを供給するガス供給部と
前記ガスの原子をイオン化するための電離エネルギーを前記チャンバー内に供給する電離エネルギー供給部と
を備え、
前記ガス供給部は、異なる種類のガスが充填された複数のガスボンベと、前記ガスボンベに接続され前記チャンバーへガスを通すガス通路と、前記ガス通路に取り付けられパルス的に短時間だけ開状態にできるパルス制御用ガスバルブを有する
イオン源装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2020 INPIT