気体分析装置及びこの装置に適用するマスク

開放特許情報番号
L2020001344
開放特許情報登録日
2020/6/30
最新更新日
2020/6/30

基本情報

出願番号 特願2018-071952
出願日 2018/4/3
出願人 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
公開番号 特開2019-184288
公開日 2019/10/24
発明の名称 気体分析装置及びこの装置に適用するマスク
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 プラントの排ガスや呼気ガス等の水分を含有する気体試料を分析するための気体分析装置、及び、気体分析装置に適用するマスク
目的 水分を含有する気体試料を分析するための気体分析装置において、より高精度な分析が可能な気体分析装置を提供する。
効果 水分を含有する気体試料を分析するための気体分析装置において、より高精度な分析が可能な気体分析装置を提供することができる。
技術概要
水分を含有する気体試料を分析するための気体分析装置であって、
前記気体試料に含まれる水分を付着するフィルタ部と、
前記フィルタ部を通過した気体を質量分析法により分析する質量分析部と、を備えたことを特徴とする気体分析装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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