原子発光検出器用マイクロプラズマ装置

開放特許情報番号
L2020001126
開放特許情報登録日
2020/6/29
最新更新日
2020/6/29

基本情報

出願番号 特願2013-131589
出願日 2013/6/24
出願人 国立大学法人東京工業大学
公開番号 特開2015-004648
公開日 2015/1/8
登録番号 特許第6167272号
特許権者 国立大学法人東京工業大学
発明の名称 原子発光検出器用マイクロプラズマ装置
技術分野 情報・通信、電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 高輝度でのプラズマの発光を可能とし、さらに、前記発光を効率よく測光することができる原子発光検出器用マイクロプラズマ装置
目的 プラズマ発生室内において高輝度でのプラズマの発光を可能とし、さらに、前記発光を効率よく測光して被測定物質の検出感度に優れた原子発光検出器用マイクロプラズマ装置を提供する。
効果 プラズマ発生室内において高輝度でのプラズマの発光を可能とし、さらに、前記発光を効率よく測光して被測定物質の検出感度に優れた原子発光検出器用マイクロプラズマ装置を提供することを可能とする。
技術概要
金属板からなる一対の対向電極の間および両外側面に誘電体からなる誘電板をそれぞれ配置した積層体において、積層方向に貫通して形成された貫通孔からなるプラズマ発生室と、
前記プラズマ発生室の一方の開口部から前記プラズマ発生室に対してプラズマ生成用ガスを導入するプラズマ生成用ガス導入部と、
前記積層体の前記プラズマ発生室の他方の開口部が開口している外側面と所定の間隙を形成した状態で設けられた透明板と、
前記透明板を隔てて前記プラズマ発生室の前記積層体の積層方向における中心軸と同軸に設けられた光ファイバーとを備え、
前記プラズマ生成用ガス導入部から前記プラズマ発生室の内部にプラズマ生成用ガスを導入するとともに、前記一対の対向電極に対して電圧を印加することにより、前記プラズマ発生室内に発生したマイクロプラズマの発光を前記光ファイバを通して検出するように形成されていることを特徴とする原子発光検出器用マイクロプラズマ装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2020 INPIT