ＭＥＭＳセンサ
- 開放特許情報番号
- L2020001021
- 開放特許情報登録日
- 2020/5/22
- 最新更新日
- 2020/7/20
基本情報
| 出願番号 | 特願2016-087136 |
|---|---|
| 出願日 | 2016/4/25 |
| 出願人 | 国立大学法人 新潟大学 |
| 公開番号 | |
| 公開日 | 2017/4/6 |
| 登録番号 | |
| 特許権者 | 国立大学法人 新潟大学 |
| 発明の名称 | ＭＥＭＳセンサ |
| 技術分野 | 情報・通信 |
| 機能 | 機械・部品の製造 |
| 適用製品 | 質感計測用のＭＥＭＳセンサ |
| 目的 | 質感計測を単一のＭＥＭＳセンサで行う技術を提供する。 |
| 効果 | 質感計測を単一のセンサで行うことができる。 |
技術概要) |
質感計測用のＭＥＭＳセンサであって、
透光性弾性部材と、 前記透光性弾性部材に埋め込まれた少なくとも１つの検知素子と、 物体を照射する光源と、 を有し、 前記検知素子は、 半導体層上に絶縁層を介して設けられた２つの端子と、 前記半導体層に端部が接続され、前記透光性弾性部材に対する前記物体の接触に応じて変形するカンチレバーと、 前記カンチレバー上に設けられ、前記２つの端子に各端部が接続されたひずみゲージと、を備え、前記２つの端子間の直流抵抗の変化に基づき接触力を検知し、前記２つの端子間の交流インピーダンス変化に基づき、前記物体からの反射スペクトルと前記物体の温度との少なくとも一方を検知する、ＭＥＭＳセンサ。 |
| 実施実績 | 【無】 |
| 許諾実績 | 【無】 |
| 特許権譲渡 | 【可】 |
| 特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
| 登録者名称 | |
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その他の情報
| 関連特許 |
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