平面振動計測装置及び平面振動計測方法
- 開放特許情報番号
- L2020000938
- 開放特許情報登録日
- 2020/5/11
- 最新更新日
- 2020/5/11
基本情報
| 出願番号 | 特願2015-116904 |
|---|---|
| 出願日 | 2015/6/9 |
| 出願人 | 国立大学法人 新潟大学 |
| 公開番号 | |
| 公開日 | 2017/1/5 |
| 登録番号 | |
| 特許権者 | 国立大学法人 新潟大学 |
| 発明の名称 | 平面振動計測装置及び平面振動計測方法 |
| 技術分野 | 情報・通信 |
| 機能 | 機械・部品の製造、検査・検出 |
| 適用製品 | 平面振動計測装置及び平面振動計測方法 |
| 目的 | 広い面積を有する測定物体（物体平面）について、空間的走査を必要とせず、ＣＣＤカメラ等の撮像素子を備える光学干渉計を用いて、振動面の２次元的な周波数、位相、振幅の分布を一括で求めることができる平面振動計測装置及び平面振動計測方法を提供する。 |
| 効果 | 広い面積を有する測定物体について、空間的走査を必要とせず、ＣＣＤカメラ等の撮像素子を備える光学干渉計を用いて、振動面の２次元的な周波数、位相、振幅の分布を一括で求めることができる。 |
技術概要) |
第１周波数で振動する測定物体の平面振動を計測する平面振動計測装置であって、
光を出射する光源と、 振動部が取り付けられ、当該振動部により第２周波数で振動する参照ミラーと、 受光素子と、 制御部と、 前記光源が出射する光を分岐し、前記測定物体の方向と、前記参照ミラーの方向にそれぞれ出射する分岐部と、 前記測定物体から反射された光と、前記参照ミラーから反射された光とを統合して前記受光素子に出射する統合部と、 を備え、 前記第１周波数は、前記受光素子のフレームレートよりも大きく、前記測定物体の平面上で２次元的分布を有し、 前記第２周波数は前記第１周波数と異なり、前記第１周波数と前記第２周波数との差は、前記受光素子のフレームレートより小さく、 前記受光素子は、前記統合部により統合された光に基づく干渉画像を生成し、 前記制御部は、前記干渉画像に基づいて、前記測定物体の平面上の周波数分布、位相分布、及び振幅分布を求める、 平面振動計測装置。 |
| 実施実績 | 【無】 |
| 許諾実績 | 【無】 |
| 特許権譲渡 | 【可】 |
| 特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
| 登録者名称 | |
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その他の情報
| 関連特許 |
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