プラズマエッチング装置

開放特許情報番号
L2020000935
開放特許情報登録日
2020/5/11
最新更新日
2020/5/11

基本情報

出願番号 特願2014-180272
出願日 2014/9/4
出願人 国立大学法人 新潟大学
公開番号 特開2016-054257
公開日 2016/4/14
登録番号 特許第6440298号
特許権者 国立大学法人 新潟大学
発明の名称 プラズマエッチング装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 プラズマエッチング装置
目的 被加工材が固定された電極を高温に加熱するための外部ヒータあるいは埋め込み式ヒータを設けることなく、簡易な構成により自己加熱し、難加工材料のプラズマエッチング処理が可能となるプラズマエッチング装置を提供する。
効果 被加工材が固定された電極を高温に加熱するための外部ヒータあるいは埋め込み式ヒータを設けることなく、簡単な構成により、難加工材料のプラズマエッチング処理が可能なプラズマエッチング装置を提供することができる。
技術概要
チャンバー内に設置された被加工材をプラズマ放電によってエッチングするプラズマエッチング装置であって、
前記チャンバー内に位置し、前記被加工材を支持する電極を備え、
前記電極と前記被加工材との間には、前記被加工材から前記電極への伝熱を妨げる伝熱抑制部材が設けられ、前記電極は、前記伝熱抑制部材を介して前記被加工材を支持し、
前記伝熱抑制部材は、前記チャンバー内に位置し、前記被加工材が固定されるステージ部材であり、
前記ステージ部材は、前記電極との間の少なくとも一部に空隙が形成された状態で前記電極に支持されるように構成されていることを特徴とするプラズマエッチング装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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