光電変換素子、光電変換素子の製造方法、固体撮像素子

開放特許情報番号
L2020000919
開放特許情報登録日
2020/5/8
最新更新日
2020/5/8

基本情報

出願番号 特願2015-151247
出願日 2015/7/30
出願人 日本放送協会
公開番号 特開2017-034039
公開日 2017/2/9
登録番号 特許第6575997号
特許権者 日本放送協会
発明の名称 光電変換素子、光電変換素子の製造方法、固体撮像素子
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 光電変換素子およびその製造方法、光電変換素子を備える固体撮像素子
目的 可視光全域で十分な感度が得られ、かつ、これを用いた固体撮像素子において高画質の画像が得られる光電変換素子およびその製造方法、上記の光電変換素子を備える固体撮像素子を提供する。
効果 光電変換層に含まれる結晶セレン膜の膜厚が十分に確保されているため、可視光全域で十分な感度を得ることができる。
十分に小さい結晶粒径を有する結晶セレン膜を含む光電変換層を有しているため、これを用いた固体撮像素子において高画質の画像が得られる。
十分に厚い膜厚で、かつ十分に小さい結晶粒径を有する結晶セレン膜を形成でき、さらに熱処理により結晶セレン膜に発生するピンホールおよび膜剥がれを抑制できる。
高品質な結晶セレン膜を有する光電変換素子を、歩留まりよく製造できる。
技術概要
セレンからなる第1結晶セレン膜と、
前記第1結晶セレン膜に接して形成され、塩素、臭素、ヨウ素、アンチモン、タリウムから選ばれるいずれか一種または二種以上の添加元素とセレンとを含み、結晶粒の最大半径が400nm以下であり、膜厚が0.1〜5μmである第2結晶セレン膜とからなる結晶セレン膜を含む光電変換層を有することを特徴とする光電変換素子。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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