高速応答・高感度乾湿応答センサー

開放特許情報番号
L2020000730
開放特許情報登録日
2020/4/10
最新更新日
2020/4/10

基本情報

出願番号 特願2016-535935
出願日 2015/7/21
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 WO2016/013544
公開日 2016/1/28
登録番号 特許第6448007号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 高速応答・高感度乾湿応答センサー
技術分野 情報・通信
機能 材料・素材の製造
適用製品 高速応答・高感度乾湿応答センサー
目的 ガルバニ電流の検出を動作原理とする乾湿応答センサーの感度および応答性を向上させ、またこれによって乾湿応答センサーを小型化する。
効果 単純な構造でセンサー駆動電力を必要としない高感度かつ高速応答性の乾湿応答センサーが提供されるため、乾湿応答センサーを小型化、低価格化することができる。
技術概要
第1の金属の細線と、
前記第1の金属とは異なる第2の金属の細線と
を絶縁性基板上に並置した、乾湿応答センサーであって、
前記第1の金属の細線と前記第2の金属の細線との間の間隔は5nm以上、20μm未満の範囲であり、
前記第1の金属は金、白金、銀、チタン及びこれらの合金、並びに炭素からなる群から選択され、
前記第2の金属は銀、銅、鉄、亜鉛、ニッケル、コバルト、アルミニウム、スズ、クロム、モリブデン、マンガン、マグネシウム及びこれらの合金からなる群から選択され、
前記第1の金属の細線と前記第2の金属の細線のペア数が50以上であり、
前記第1の金属の細線と前記第2の金属の細線の間を流れる電流値に基づいて前記第1の金属の細線と前記第2の金属の細線の間に存在する液滴のサイズを判別するようにした、乾湿応答センサー。
実施実績 【無】   
許諾実績 【有】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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