目的
ガルバニ電流の検出を動作原理とする乾湿応答センサーの感度および応答性を向上させ、またこれによって乾湿応答センサーを小型化する。
効果
単純な構造でセンサー駆動電力を必要としない高感度かつ高速応答性の乾湿応答センサーが提供されるため、乾湿応答センサーを小型化、低価格化することができる。
技術概要
第１の金属の細線と、
前記第１の金属とは異なる第２の金属の細線と
を絶縁性基板上に並置した、乾湿応答センサーであって、
前記第１の金属の細線と前記第２の金属の細線との間の間隔は５ｎｍ以上、２０μｍ未満の範囲であり、
前記第１の金属は金、白金、銀、チタン及びこれらの合金、並びに炭素からなる群から選択され、
前記第２の金属は銀、銅、鉄、亜鉛、ニッケル、コバルト、アルミニウム、スズ、クロム、モリブデン、マンガン、マグネシウム及びこれらの合金からなる群から選択され、
前記第１の金属の細線と前記第２の金属の細線のペア数が５０以上であり、
前記第１の金属の細線と前記第２の金属の細線の間を流れる電流値に基づいて前記第１の金属の細線と前記第２の金属の細線の間に存在する液滴のサイズを判別するようにした、乾湿応答センサー。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
