エネルギー弁別電子検出器及びそれを用いた走査電子顕微鏡

開放特許情報番号
L2020000725
開放特許情報登録日
2020/4/10
最新更新日
2020/4/10

基本情報

出願番号 特願2016-550142
出願日 2015/9/17
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 WO2016/047538
公開日 2016/3/31
登録番号 特許第6440128号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 エネルギー弁別電子検出器及びそれを用いた走査電子顕微鏡
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 電子線またはイオンビームの照射によりその照射対象から生じた二次電子、反射電子、オージェ電子等の各種電子のエネルギーを弁別し、検出するエネルギー弁別電子検出器
目的 対象物からの電子が有する情報をより多く取り出すことができるようにする。
電子ビームを照射した試料から出射した二次電子をより効率的に収集し、SE3電子の取り込みを抑止し、より鮮明な像コントラストでより精度の高い電子顕微鏡像を得ることができる走査電子顕微鏡を提供する。
電子ビームにより帯電した絶縁体試料を容易に観察可能とする走査電子顕微鏡を提供する。
効果 電子線またはイオンビームの照射対象から生じた二次電子等のうちの低エネルギー側だけを弁別して検出することにより、低エネルギー側のこれら電子が持っている情報だけを取り出して検出することが容易になる。
ノイズが少ない、より鮮明な像コントラストでより精度の高い電子顕微鏡像を得ることができる。
技術概要
対物レンズを介して電子線またはイオンビームを照射するエネルギー線照射装置と前記対物レンズからの前記電子線またはイオンビームが照射されることにより電子を放射する対象物との間に設けられ、負電圧が印加される平面形状の主電極と、
前記主電極の前記対象物側に離間して設けられ、前記対象物から放射された電子のうちで前記主電極で反射された電子を検出する電子検出器と
を設けた、エネルギー弁別電子検出器。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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