ガス分析装置およびガス分析方法

開放特許情報番号
L2020000700
開放特許情報登録日
2020/4/3
最新更新日
2020/4/3

基本情報

出願番号 特願2015-227765
出願日 2015/11/20
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2017-096710
公開日 2017/6/1
登録番号 特許第6548260号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 ガス分析装置およびガス分析方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 ガス分析装置およびガス分析方法
目的 ガス中に極微量に含有される物質の質量を分析するガス分析装置、および、ガス分析方法を提供する。
効果 クロマトグラフィを不要とするので、装置全体が小型化されるだけでなく、装置の操作を簡便にするので、有利である。
技術概要
複数の物質から構成されるガスのうち1以上の物質の質量を分析するガス分析装置であって、
ガスを導入する導入管を有し、第1の真空ポンプを備える真空チャンバと、
真空チャンバに接続される冷却装置と、
冷却装置に接続され、真空チャンバ内に配置された支持体であって、冷却装置により導入されたガスのうち少なくとも1以上の物質を凍結凝縮させる基板が載置される支持体と、
支持体に載置された基板を加熱する加熱装置と、
真空チャンバに接続された質量分析機構と
を備え、
質量分析機構は、
加熱装置により基板から脱離した1以上の物質を吸引する吸引管と、
吸引管で吸引された1以上の物質のうち一部を排気し、質量分析機構内を真空状態に維持する第2の真空ポンプと、
排気されなかった1以上の物質の質量を分析する質量分析器と
をさらに備え、
吸引管は、その一方の開口端が基板に対向するよう配置され、かつ、基板に対して近接するよう移動可能であり、
吸引管は、一方の開口端の口径が吸引管のそれ以外の部分の口径よりも小さくなるよう先細りの形状を有する、ガス分析装置。"
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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