目的
ＣＰＰ−ＧＭＲ素子のＭＲ特性を大きくすることができ、例えば次世代ＨＤＤ用リードヘッド等に用いるのに好適である。
効果
磁気ハードディスクの読取ヘッド等の実デバイスへ応用するのに必要とされる磁気抵抗特性が良好なホイスラー合金を用いた巨大磁気抵抗素子であり、磁気ヘッド、磁界センサ、スピン電子回路、トンネル磁気抵抗デバイスのような実用デバイスに用いて好適である。
技術概要
シリコン基板上に、第１の非磁性材料を成膜する工程と、
前記第１の非磁性材料を成膜した前記シリコン基板に、下部強磁性材料の層、第１のＢ２構造の挿入層、第２の非磁性材料の層、第２のＢ２構造の挿入層及び上部強磁性材料の層をこの順で有する巨大磁気抵抗効果層を成膜する工程であって、前記第１及び第２の挿入層の膜厚が０．１５ｎｍ以上０．８ｎｍ未満であり、
前記巨大磁気抵抗効果層を成膜した前記シリコン基板を２００℃以上６００℃以下で熱処理する工程と、
を有することを特徴とする磁気抵抗素子の製造方法。
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