顕微分光データ測定装置および方法

開放特許情報番号

L2020000666

開放特許情報登録日

2020/3/27

最新更新日

2020/4/20

基本情報

出願番号	特願2016-066285
出願日	2016/3/29
出願人	国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号	特開2017-181192
公開日	2017/10/5
登録番号	特許第6677943号
特許権者	国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称	顕微分光データ測定装置および方法
技術分野	情報・通信
機能	機械・部品の製造
適用製品	電子ビームを試料上で走査して画像データやスペクトルを得る走査電子顕微鏡に用いて好適な顕微分光データ測定装置および方法
目的	電子ビームの加速電圧を可変にしたり複数個の検出器を併用することなく、従来定性的な理解に留まっていた二次電子強度の顕微分光データの解析を定量的に行うことを可能にする顕微分光データ測定装置および方法を提供する。
効果	単色化された入射電子ビームを試料に入射し、その単色の電子ビームが試料内部でエネルギー幅が広がった、いわゆる（単色の対語として）白色の二次電子に変換され、その白色の二次電子の内で試料から放出される二次電子を使ってナノ薄膜の特性のエネルギー依存性を調べることができる。
技術概要	第１母相、第２母相およびナノ薄膜領域を有する試料の顕微分光データ測定装置であって、 電子ビームを集束して試料に照射する電子光学系と、 前記電子ビームの照射によって前記試料から発生する二次電子の顕微分光データを検出する検出器と、 前記顕微分光データについて、前記試料上の第１母相、第２母相、第１ナノ薄膜領域の極表層および第２ナノ薄膜領域の極表層と対応付ける画像処理部と、を有し、 前記電子光学系は前記試料の第１母相、第２母相、前記第１母相の極表層に分布した第１ナノ薄膜領域、および前記第２母相の極表層に分布した第２ナノ薄膜領域に対して前記電子線を所定の加速電圧で照射し、 前記画像処理部は、前記検出器で取得された前記第１母相、第２母相、第１ナノ薄膜領域、および第２ナノ薄膜領域の二次電子の顕微分光データの信号強度に基づいて、前記ナノ薄膜領域の物性特性のエネルギー依存性を演算することを特徴とする顕微分光データ測定装置。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者情報

登録者名称	国立研究開発法人物質・材料研究機構

その他の情報

関連特許	国内 【無】 国外 【無】