液体処理による無機材料の表面疎水化あるいは損傷補修
- 開放特許情報番号
- L2020000645
- 開放特許情報登録日
- 2020/3/18
- 最新更新日
- 2020/3/18
基本情報
出願番号 | 特願2005-078676 |
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出願日 | 2005/3/18 |
出願人 | JSR株式会社 |
公開番号 | |
公開日 | 2006/9/28 |
登録番号 | |
特許権者 | JSR株式会社 |
発明の名称 | 表面疎水化方法、ならびに半導体装置およびその製造方法 |
技術分野 | 電気・電子、化学・薬品、無機材料 |
機能 | 材料・素材の製造、表面処理 |
適用製品 | 表面疎水化の必要な無機材料 |
目的 | 液体処理による無機材料の表面疎水化 |
効果 | 無機材料の表面を疎水化あるいは損傷補修を行う |
技術概要 |
ジアセトキシメチルシランを接触させた後、非プロトン系溶媒で洗浄、加熱する |
実施実績 | 【無】 |
許諾実績 | 【無】 |
特許権譲渡 | 【可】 |
特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
登録者名称 | |
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その他の情報
関連特許 |
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