液体処理による無機材料の表面疎水化あるいは損傷補修

開放特許情報番号
L2020000645
開放特許情報登録日
2020/3/18
最新更新日
2020/3/18

基本情報

出願番号 特願2005-078676
出願日 2005/3/18
出願人 JSR株式会社
公開番号 特開2006-261490
公開日 2006/9/28
登録番号 特許第4877454号
特許権者 JSR株式会社
発明の名称 表面疎水化方法、ならびに半導体装置およびその製造方法
技術分野 電気・電子、化学・薬品、無機材料
機能 材料・素材の製造、表面処理
適用製品 表面疎水化の必要な無機材料
目的 液体処理による無機材料の表面疎水化
効果 無機材料の表面を疎水化あるいは損傷補修を行う
技術概要
 
ジアセトキシメチルシランを接触させた後、非プロトン系溶媒で洗浄、加熱する
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 JSR株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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