コンビナトリアルスパッタ方法及び装置

開放特許情報番号
L2020000567
開放特許情報登録日
2020/3/13
最新更新日
2020/3/13

基本情報

出願番号 特願2016-251841
出願日 2016/12/26
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2018-104761
公開日 2018/7/5
発明の名称 コンビナトリアルスパッタ方法及び装置
技術分野 金属材料
機能 機械・部品の製造
適用製品 スパッタ方法及びスパッタ装置
目的 スパッタ動作中に部材を移動する等の動的な制御を行なわずに、しかも従来よりも狭い基板表面領域を使ってコンビナトリアルスパッタを行う。
効果 スパッタ中に動的に構造を変化させる必要のない、単純な構造のスパッタマスクを使用するだけでコンビナトリアルスパッタを実現できるだけではなく、従来よりも狭い領域中においてスパッタ条件を広い範囲で変化させた測定用の試料を作成することができる。
技術概要
スパッタガンから射出されたスパッタビームを、開口部を有するスパッタビームマスクを介してスパッタ対象の基板に照射することにより、前記開口部により規制された前記スパッタビームによる前記基板上への照射の強度が位置によって異なる不均一強度分布を形成させ、
前記不均一強度分布によりコンビナトリアルスパッタを行う
コンビナトリアルスパッタ方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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