3次元ラマン分光方法

開放特許情報番号
L2020000549
開放特許情報登録日
2020/3/11
最新更新日
2020/3/11

基本情報

出願番号 特願2017-042239
出願日 2017/3/6
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2018-146410
公開日 2018/9/20
発明の名称 3次元ラマン分光方法
技術分野 情報・通信、電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 3次元ラマン分光方法
目的 光軸近傍上の焦点面以外のラマン散乱光も測定ラマン光として検出し、3次元測定としてのラマン分光測定の精度を低下させるという課題を解決し、精度の高い3次元ラマン測定方法を提供する。
効果 精度の高い3次元ラマン測定方法を提供することが可能になる。
技術概要
共焦点光学系を用いて3次元のラマン分光分析を行う3次元ラマン分光法であって、
前記共焦点光学系を用いて、被測定試料に対して2以上の複数mの焦点面F↓i(iは1からmまでの整数)でラマン分光分析を行うラマン分光測定工程と、
前記ラマン分光測定工程によって取得された2以上の複数mの焦点面F↓iでの測定データW↓Miを用いて前記複数の焦点面での真のラマン分光値W↓iを算出する真値算出工程からなり、
前記真値算出工程は、式1のm個からなる連立方程式を解くことにより真値W↓iを求める工程であり、

前記R↓ijは、焦点面を前記F↓iとしたときの高さ方向でjの位置の規格化された重み係数であり、前記jの位置における前記被測定試料の表面からの距離D、前記焦点面Fiからの距離をz、ラマン分光を行うために前記被測定試料に入射される入射光に対する前記被測定試料の吸光度をk、ラマン検出の効率をE(z)として、式2で与えられる、3次元ラマン分光方法。
R↓ij=E(z)・exp(−2kD)・・・(式2)
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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