| 出願番号 |
特願2017-155808 |
| 出願日 |
2017/8/10 |
| 出願人 |
国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 |
特開2019-035613 |
| 公開日 |
2019/3/7 |
| 登録番号 |
特許第7304606号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 発明の名称 |
膜型表面応力センサーを用いた水素センサー及び水素検出方法 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
材料・素材の製造、検査・検出 |
| 適用製品 |
膜型表面応力センサーを用いた水素センサー |
| 目的 |
水素吸蔵材料の感応膜が水素を吸蔵・放出する際の膨張・収縮によりセンサー本体表面に生起される表面応力を検出する形式の水素センサーにおいて、従来技術よりも薄くした感応膜を使用して高い水素検出感度を発揮する水素センサー及びそのようなセンサーを使用した水素検出方法を提供する。 |
| 効果 |
センサー本体として膜型表面応力センサーを使用することにより、水素吸蔵材料でできた感応膜の厚さが３０ｎｍ以下であっても従来のカンチレバー型水素センサーを上回る検出感度を実現することができるようになる。 |
技術概要
 |
膜型表面応力センサーの表面応力を受け取る表面に感応膜として膜厚が３０ｎｍ以下の水素吸蔵材料の膜を設けた水素センサー。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)