ダイヤモンド構造体、ダイヤモンド・カンチレバー、およびダイヤモンド構造体の製造方法

開放特許情報番号
L2020000481
開放特許情報登録日
2020/3/4
最新更新日
2020/3/4

基本情報

出願番号 特願2018-022665
出願日 2018/2/13
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2019-140547
公開日 2019/8/22
発明の名称 ダイヤモンド構造体、ダイヤモンド・カンチレバー、およびダイヤモンド構造体の製造方法
技術分野 電気・電子、機械・加工、無機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 ナノおよびマイクロ電子機械システムデバイス
目的 単結晶ダイヤモンドが有している優れた特性を活かして、極めて高い品質因子を有し、かつ高温化でも性能低下が少ないダイヤモンド構造体およびその製造方法を提供する。
効果 弾性損失、熱弾性損失が極めて少なく、600℃というような高温下でも性能の低下が少なく、500,000以上という極めて優れた品質因子をもつMEMS/NEMSカンチレバーおよび機械共振子および機械共振子とそれらの製造方法を提供することが可能になる。
技術概要
単結晶ダイヤモンド層上に支持部を介してダイヤモンドの梁が形成されたダイヤモンド構造体において、
前記梁は表面欠陥層と本体層からなり、
前記表面欠陥層はダイヤモンドライクカーボンからなり、
前記表面欠陥層の厚さは前記本体層の厚さに対して2%以下であり、
前記本体層は単結晶ダイヤモンドからなる、ダイヤモンド構造体。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2020 INPIT