結晶格子面分布測定方法

開放特許情報番号
L2020000470
開放特許情報登録日
2020/3/4
最新更新日
2020/3/4

基本情報

出願番号 特願2018-083268
出願日 2018/4/24
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2019-190965
公開日 2019/10/31
発明の名称 結晶格子面分布測定方法
技術分野 情報・通信
機能 検査・検出
適用製品 結晶格子面分布測定方法
目的 結晶構造を有する試料の結晶格子面方向分布を50μmというような高い空間分解能をもち、かつ高速に測定する方法を提供する。
効果 結晶構造を有する試料の結晶格子面方向分布を50μm以下の分解能で、かつ高速に測定する方法を提供することが可能になる。
技術概要
結晶構造を有する試料の結晶格子面方向分布を測定する結晶格子面方向分布測定方法において、
平行な光速を有する指向性のX線を、前記試料の結晶軸の方向に沿った2以上の方位から前記2以上の方位毎に、入射角を複数変えて前記試料の面内各部に照射するX線照射工程と、
前記試料からの前記X線のブラッグ反射光を前記面内各部に対応して検出して、前記2以上の方位毎にブラッグ反射光強度を前記面内各部に対応して測定するブラッグ反射光強度測定工程と、
ブラッグ反射光の反射強度を極大にする入射角度を、前記2以上の方位および前記面内各部毎に求める入射角度算出工程と、
前記2以上の方位および前記面内各部毎に求めた入射角度から、前記面内各部毎の結晶格子面方向を計算する結晶格子面方向計算工程と、を有する結晶格子面方向分布測定方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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