一次元または二次元検出器を用いた回折X線の強度を測定する方法

開放特許情報番号
L2020000462
開放特許情報登録日
2020/3/2
最新更新日
2020/3/2

基本情報

出願番号 特願2018-104186
出願日 2018/5/31
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2019-211209
公開日 2019/12/12
発明の名称 一次元または二次元検出器を用いた回折X線の強度を測定する方法
技術分野 情報・通信
機能 検査・検出
適用製品 一次元または二次元検出器を用いた回折X線の強度を測定する方法
目的 X線回折測定において一次元/二次元検出器における検出器素子間の感度のばらつきを低減する測定方法を提供する。
効果 同一の回折角度のX線に対する複数の検出器素子のデータが平均されるので、移動平均法のような平滑化と異なり、回折ピークの平坦化は生じない。繰り返しの回数を増やすことにより、総露光時間が増大するため、計数のランダムな誤差の低減が可能となり、回折データの精度を向上できる。
技術概要
本発明の回折X線の強度を測定する方法は、一次元または二次元検出器の、回折X線と垂直をなす方向の長さを弦とする中心角をWとし、検出器が含有する素子数をNとし、検出器アームを、一定のステップ幅ずつ、開始角から終了角まで走査し、回折データを取得するステップと、開始角をn×W/N(nは1≦n≦Nを満たす自然数)だけ増加させるステップと、検出器アームを、一定のステップ幅ずつ、増加した開始角から終了角まで走査し、回折データをさらに取得するステップと、増加させるステップと、さらに取得するステップとを繰り返すステップと、回折データを2θ角度変換・補正を行い、2θごとにソートするステップと、回折データをW/Nの2θ区間ごとで平均化するステップとを包含する方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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