| 出願番号 |
特願2018-104963 |
| 出願日 |
2018/5/31 |
| 出願人 |
国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 |
特開2019-212677 |
| 公開日 |
2019/12/12 |
| 登録番号 |
特許第7123348号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 発明の名称 |
有機金属分子線エピタキシー方法及び装置 |
| 技術分野 |
電気・電子、無機材料、金属材料 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
分子線エピタキシー |
| 目的 |
遷移金属等の金属原料を安定して供給し、かつその供給速度を広いレンジで変化することができるようにすることで、大型・高価な装置を使用することなく、遷移金属窒化物等の金属化合物の高品質の薄膜を作成できるようにするＭＢＥ方法及び装置を提供する。 |
| 効果 |
遷移金属窒化物のＭＢＥ法を用いた薄膜成長を行うにあたって、遷移金属の原料として高融点・低蒸気圧の物質を使用していたために引き起こされていた不安定で、かつ供給速度が遅いという原料供給の問題が改善される。 |
技術概要
 |
分子線エピタキシーのための金属の原料として有機金属を供給する分子線エピタキシー方法。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)