カーボンナノチューブを成長させる方法

開放特許情報番号
L2020000460
開放特許情報登録日
2020/3/2
最新更新日
2020/3/2

基本情報

出願番号 特願2018-127968
出願日 2018/7/5
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2020-007177
公開日 2020/1/16
発明の名称 カーボンナノチューブを成長させる方法
技術分野 化学・薬品、無機材料、機械・加工
機能 材料・素材の製造
適用製品 基板上の所望の場所にカーボンナノチューブを成長させる方法
目的 基板上の所望の位置に高精度にカーボンナノチューブを成長させる方法を提供する。
効果 基板上の所望の位置にFIBを照射することによって、カーボンナノチューブを高精度に成長させることができる。
技術概要
基板上にカーボンナノチューブを成長させる方法であって、
前記基板上にシリカ前駆体を供給するステップと、
収束イオンビーム(FIB)を前記シリカ前駆体が供給された基板に照射し、前記シリカ前駆体に基づくシリカからなるシートを形成するステップであって、前記シートは、3nmを超える厚さを有し、前記FIBが照射された基板上に形成される、ステップと、
前記シートが形成された基板を少なくとも酸素を含有する雰囲気中で熱処理するステップと、
化学的気相成長法(CVD)により前記シートからカーボンナノチューブを成長させるステップと
を包含する、方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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