金属微細構造体の製造方法

基本情報

出願番号	特願2018-008376
出願日	2018/1/22
出願人	国立大学法人静岡大学
公開番号	特開2019-129190
公開日	2019/8/1
登録番号	特許第7061308号
特許権者	国立大学法人静岡大学
発明の名称	金属微細構造体の製造方法
技術分野	電気・電子
機能	材料・素材の製造
適用製品	金属微細構造体の製造方法
目的	より微細な構造を有する金属微細構造体を形成することができる金属微細構造体の製造方法を提供する。
効果	より微細な構造を有する金属微細構造体を形成することが可能となる。
技術概要	金属塩を溶解させたポリアミック酸を含む被処理部材を形成する形成ステップと、レーザ光源からレーザ光を出力するとともに当該レーザ光の偏光状態を制御する出力ステップと、偏光状態を制御された前記レーザ光を予め設定された照射パターンで前記被処理部材に照射する照射ステップと、前記被処理部材を除去する除去ステップと、を備える、金属微細構造体の製造方法。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立大学法人静岡大学