適用製品
複数の細径円柱体が平行や同軸に配されているナノカーボンチューブ、光ファイバ、めっき線、蒸着線や蜘蛛の糸などにおいて、個々の細径円柱体の直径、屈折率及び、それらの中心軸間距離並びに入射光軸と間隔のなす角を同時にはかる測定方法、およびこの測定方法を用いた装置
目的
ナノカーボンチューブなどのチューブ状の円柱体ではその内径を知ることや、同軸でコア部と外周に配されるクラッド部を持つ光ファイバなどの同軸円柱体では、そのコア部の直径や光ファイバ自体の直径、コアの偏芯度、個々の屈折率などを制御することが特性向上に対する重要な要素であり、これらを精度良く、且つ効率よく測定する測定方法およびその測定方法を用いた装置を提供する。
効果
投射されたレーザ光が被測定物である複数の円柱体による散乱によって生じる散乱光の散乱光強度及びその散乱角度を基に、被測定物の直径、屈折率及び中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の関数となる偏差指標を算出し、適正化することによって、複数の円柱体の直径、屈折率及び中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を同時に、効率よく且つ精度良く求めることを可能とする。
技術概要
中心軸が平行関係を持つ複数の円柱体の長さ方向に対して平行に偏光した平行偏光光を前記複数の円柱体に投射し、
前記複数の円柱体の個々で前記平行偏光光の一部が反射して生じる散乱光の散乱角度と散乱光強度とを、前記複数の円柱体の周囲で円周上に配された複数の観測点で測定し、
前記測定散乱強度を測定したときの、前記円柱体ごとの前記観測点から円柱体中心までの距離と前記円柱体ごとの散乱角度とから、円柱体間の多重散乱を考慮した式に基づいて複数の計算散乱光強度を算出し、
前記測定により得た複数の測定散乱光強度と、前記算出した複数の計算散乱光強度とから、前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の関数で表される偏差指標を算出し、
前記偏差指標を最小とする前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の組み合わせを導出して、
前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を求める、
円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の測定方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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