酸化ガリウムの製造方法及び結晶成長装置

開放特許情報番号
L2020000335
開放特許情報登録日
2020/2/14
最新更新日
2020/2/14

基本情報

出願番号 特願2016-213949
出願日 2016/11/1
出願人 国立大学法人 和歌山大学
公開番号 特開2018-070422
公開日 2018/5/10
発明の名称 酸化ガリウムの製造方法及び結晶成長装置
技術分野 無機材料、金属材料、電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 酸化ガリウムの製造方法及び結晶成長装置
目的 不純物を含まない高品質な酸化ガリウムの結晶を効率よく製造する技術を提供する。
効果 金属ガリウムを塩酸などのハロゲン化水素酸に溶解させることで、安全かつ確実にハロゲン化物イオンとガリウムイオンを含むハロゲン化ガリウム水溶液を調製することができる。得られたハロゲン化ガリウム水溶液はドライミストとしてコールドウォール構造の結晶成長部に供給でき、高品質かつ高効率で、面内で均一な品質をもつ酸化ガリウムを製造することができる。
技術概要
ハロゲン化ガリウム水溶液のミストをキャリアガスとともに結晶成長部に供給し、結晶成長部で酸化ガリウムを作製する工程を含み、前記結晶成長部は周辺部と成長部を含み、成長部の温度が周辺部よりも高温であるコールドウォール構造を有する、酸化ガリウムの製造方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2020 INPIT