| 出願番号 |
特願2009-200917 |
| 出願日 |
2009/8/31 |
| 出願人 |
国立大学法人横浜国立大学 |
| 公開番号 |
特開2011-053366 |
| 公開日 |
2011/3/17 |
| 登録番号 |
特許第5538779号 |
| 特許権者 |
国立大学法人横浜国立大学 |
| 発明の名称 |
感光性樹脂組成物および該組成物を使用した反応現像画像形成方法 |
| 技術分野 |
生活・文化 |
| 機能 |
材料・素材の製造、検査・検出 |
| 適用製品 |
半導体集積回路、プリント配線基板又は液晶パネル等の製造に用いることのできる感光性樹脂組成物 |
| 目的 |
現像液として有機溶媒を使用することなく、アルカリ水溶液のみにより現像可能なポリイミド樹脂含有ネガ型感光性樹脂組成物および該感光性樹脂組成物を使用する反応現像画像形成法を提供する。 |
| 効果 |
現像液に有機溶媒を含まないアルカリ水溶液で現像可能なネガ型感光性ポリイミド樹脂組成物が提供される。 |
技術概要
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ポリイミド樹脂、アニオン再生剤及び光酸発生剤を含有する感光性樹脂組成物であって、前記ポリイミド樹脂のアルカリ加水分解物がアルカリ水溶液に可溶である感光性樹脂組成物。該感光性樹脂組成物は、現像液に有機溶媒を含まないアルカリ水溶液で現像可能なネガ型感光性ポリイミド樹脂組成物であり、該感光性樹脂組成物を使用する反応現像画像形成法によって、紫外線照射後の露光部と非露光部の現像液に対する溶解性に顕著な差ができ、ネガ型のフォトレジストを形成することができる。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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