光波計測装置及び光波計測方法

開放特許情報番号
L2019002316
開放特許情報登録日
2019/12/20
最新更新日
2019/12/20

基本情報

出願番号 特願2018-070407
出願日 2018/3/30
出願人 国立大学法人宇都宮大学
公開番号 特開2019-179233
公開日 2019/10/17
発明の名称 光波計測装置及び光波計測方法
技術分野 情報・通信、生活・文化、電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 超解像性を発現させた光波計測装置及び光波計測方法
目的 微細な構造をもつ物体からの光波に非伝播成分が多く含まれている場合であっても、伝播元の光波と取得した光波とを1対1に対応させることができ、こうした写像関係を用いて超解像性を発現させた光波計測装置及び光波計測方法を提供する。
効果 微細な構造をもつ物体からの光波に非伝播成分が多く含まれている場合であっても、伝播元の光波と取得した光波とを1対1に対応させることができ、こうした写像関係を用いて超解像性を発現させた光波計測装置及び光波計測方法を提供することができた。具体的には、照明波長の1/10波長(例えば40nm)程度のサブ波長の分解能をもつ超解像光学顕微鏡の開発を実現した。
技術概要
照明波照射手段と、参照波照射手段と、前記照明波照射手段側に測定対象物を配置可能なマスクと、撮像素子と、前記撮像素子で撮像された撮像パターンを復元するパターン復元手段と、を少なくとも備える非走査型の光波計測装置であって、
前記マスクは、前記測定対象物の配置位置となる開口部と、該開口部に隣接して設けられた既知パターンとを有し、
前記パターン復元手段は、前記既知パターンから撮像素子までの相対位置等を未知パラメータとして非線形最小二乗法によって求める未知パラメータ算出手段と、既知になった条件から重み係数行列を計算し、取得した光波と前記計算した重み係数行列とを使い、制限付き最小二乗法によって前記撮像パターンを復元する復元手段とを有する、ことを特徴とする光波計測装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 宇都宮大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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