位置決め機構
- 開放特許情報番号
- L2019002266
- 開放特許情報登録日
- 2019/12/11
- 最新更新日
- 2022/11/1
基本情報
| 出願番号 | 特願2007-218965 |
|---|---|
| 出願日 | 2007/8/24 |
| 出願人 | 秋田県 |
| 公開番号 | |
| 公開日 | 2009/3/12 |
| 登録番号 | |
| 特許権者 | 秋田県 |
| 発明の名称 | 位置決め機構 |
| 技術分野 | 情報・通信、電気・電子、生活・文化 |
| 機能 | 機械・部品の製造 |
| 適用製品 | 高精度な分解能で、且つ、高速な応答で位置決めの制御を行なうことができる位置決め機構 |
| 目的 | 直交するＸ軸及びＹ軸方向に変位を発生させるアクチュエータを用いてステージをＸ軸方向とＹ軸方向への精密な位置決めを行なうときに、アクチュエータのＸ軸又はＹ軸方向の変位に対して、ステージに回転力を作用させないような機構を介して、ステージを同一のＸ−Ｙ平面内においてｎｍ以下のオーダの精度を有しながら、高速に位置決めすることができる機構を提供する |
| 効果 | 従来のステージ構造では、せん断力により必然的に発生していたθ軸周りの回転モーメントを防止することができるので、第１及び第２のアクチュエータの動作により位置決めの対象となるステージを、高速、且つｎｍオーダ以下の精度で正確に位置決めを行なうことが可能となる。 |
技術概要) |
ステージを直交するＸ軸とＹ軸で構成される平面内を任意に移動させて、高速、且つ高精度に所定の位置に位置決めする位置決め機構において、
ベースに固定されたアクチュエータであって、推力発生手段により発生した推力を推力伝達部を介して前記Ｘ軸方向に伝達するための第１のアクチュエータと、 同じく、推力発生手段により発生した推力を推力伝達部を介して前記Ｙ軸方向に伝達するための第２のアクチュエータと、を備え、 前記ステージは、前記Ｘ軸と前記Ｙ軸にそれぞれ直交する隣り合った２辺の一方で前記第１のアクチュエータの推力伝達部にリンク機構を介して連結されて、もう一方の辺で前記第２のアクチュエータの推力伝達部にリンク機構を介して連結され、対向する四つの角部が、それぞれ弾性バネ機構を介して前記ベースに支持されており、 前記リンク機構は、互いに平行に配設されたリンク部材を備え、前記推力伝達部及び前記ステージと回動可能に連結された平行リンク機構から構成されていることを特徴とする位置決め機構。 |
| 実施実績 | 【無】 |
| 許諾実績 | 【無】 |
| 特許権譲渡 | 【否】 |
| 特許権実施許諾 | 【可】 |
アピール情報
登録者情報
| 登録者名称 | |
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その他の情報
| 関連特許 |
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