位置決め機構

開放特許情報番号
L2019002266
開放特許情報登録日
2019/12/11
最新更新日
2020/9/9

基本情報

出願番号 特願2007-218965
出願日 2007/8/24
出願人 秋田県
公開番号 特開2009-052985
公開日 2009/3/12
登録番号 特許第5028659号
特許権者 秋田県
発明の名称 位置決め機構
技術分野 情報・通信、電気・電子、生活・文化
機能 機械・部品の製造
適用製品 高精度な分解能で、且つ、高速な応答で位置決めの制御を行なうことができる位置決め機構
目的 直交するX軸及びY軸方向に変位を発生させるアクチュエータを用いてステージをX軸方向とY軸方向への精密な位置決めを行なうときに、アクチュエータのX軸又はY軸方向の変位に対して、ステージに回転力を作用させないような機構を介して、ステージを同一のX−Y平面内においてnm以下のオーダの精度を有しながら、高速に位置決めすることができる機構を提供する
効果 従来のステージ構造では、せん断力により必然的に発生していたθ軸周りの回転モーメントを防止することができるので、第1及び第2のアクチュエータの動作により位置決めの対象となるステージを、高速、且つnmオーダ以下の精度で正確に位置決めを行なうことが可能となる。
技術概要
ステージを直交するX軸とY軸で構成される平面内を任意に移動させて、高速、且つ高精度に所定の位置に位置決めする位置決め機構において、
ベースに固定されたアクチュエータであって、推力発生手段により発生した推力を推力伝達部を介して前記X軸方向に伝達するための第1のアクチュエータと、
同じく、推力発生手段により発生した推力を推力伝達部を介して前記Y軸方向に伝達するための第2のアクチュエータと、を備え、
前記ステージは、前記X軸と前記Y軸にそれぞれ直交する隣り合った2辺の一方で前記第1のアクチュエータの推力伝達部にリンク機構を介して連結されて、もう一方の辺で前記第2のアクチュエータの推力伝達部にリンク機構を介して連結され、対向する四つの角部が、それぞれ弾性バネ機構を介して前記ベースに支持されており、
前記リンク機構は、互いに平行に配設されたリンク部材を備え、前記推力伝達部及び前記ステージと回動可能に連結された平行リンク機構から構成されていることを特徴とする位置決め機構。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【有】   
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