走査型プローブ顕微鏡及びその制御方法

開放特許情報番号
L2019002226
開放特許情報登録日
2019/12/6
最新更新日
2019/12/6

基本情報

出願番号 特願2016-188803
出願日 2016/9/27
出願人 国立大学法人金沢大学
公開番号 特開2018-054385
公開日 2018/4/5
発明の名称 走査型プローブ顕微鏡及びその制御方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 走査型プローブ顕微鏡及び走査型プローブ顕微鏡の制御方法
目的 連続撮影モードにおいて、従来よりも短い測定時間で画像化を繰り返すことが可能な走査型プローブ顕微鏡及びその制御方法を提供する。
効果 連続撮影モードにおいて、従来よりも短い測定時間で画像化を繰り返すことが可能な走査型プローブ顕微鏡及びその制御方法が提供される。
技術概要
プローブと、
試料に対して相対的に前記プローブを2次元的に走査するXYスキャナと、
前記XYスキャナによる走査面と直交するZ軸方向に前記プローブを駆動するZスキャナと、
前記XYスキャナ及び前記Zスキャナを制御することによって前記試料の表面における立体形状を画像化する制御部とを備え、
前記制御部は、
前記画像化を繰り返す連続撮影モードにおいて、過去の画像化で得られた画像に基づいて、次の画像化のための前記プローブの走査及び前記プローブのZ軸方向の駆動の少なくとも一方に関する走査条件を決定し、決定した走査条件に従って前記XYスキャナ及び前記Zスキャナを制御することで次の画像化を行うことを繰り返す
走査型プローブ顕微鏡。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2019 INPIT